首先，做好仪器使用状况和维护记出现闪烁，立即关高压后控制面板指示灯除POWER亮，其余都熄录，每次开机都要注意查看仪器运转是否正常。如听旋转泵的排气灭，真空度下降。数分钟后用控制面板上的检测器测真空度声可判断真空系统的漏气故障：一般刚开机时旋转泵有连续的叶（VAC）电流一直在O.25mA，未听见高真空主阀启动的声音。
查排气声，不久声音逐渐减弱，直到听不到排气声。若出现连续不断FK板PD、H.VAC指示灯熄灭，抽真空程序不能正常进行。从故的排气声，一般是样品室门未关好或是放气阀未关闭；若工作十多障现象看引起仪器不正常的原因是：扩散泵工作不正常；计算机真分钟后间隙出现排气声，可能是机械泵油量不足或油粘度劣化引空控制部分失控。
检查发现进出口冷却水温度一样，用手轻摸扩散起。镜筒后电路控制FK板上有各工作状态指示灯，可根据泵有余热，估计是加热器或加热电路有问题，测加热电路正常，拔指示灯判断真空系统工作情况。以下对真空系统的主要部件维护作下加热器插头，测二端电阻为co，说明扩散泵加热器损坏，换上加简单的介绍。热器真空系统恢复正常。
旋转泵：要定期检查旋转泵的油平面，及时补充油确保泵。仪器自动关机，处于保护状态：一开机POWER指示灯运转正常。泵皮带用久后容易打滑，可适量加些皮带腊或稍调节皮亮，机械泵响声正常，巧分钟左右扩散泵（DP）指示灯亮，不久带松紧度，可延长皮带寿命。
PREEvAC、EVAC指示灯亮，一会PREEvAC、EvAC指扩散泵：扩散泵的工作性能好坏是决定电镜获得高真空的示灯灭，马上PREEVAC、EVAC指示灯又亮，然后仪器自动关键，而影响扩散泵性能的主要原因是油质的下降和油量的减少。关机处于保护状态。
引起此故障的原因有下列几种情况：（a）主电为了减少扩散泵油的挥发和碳化，平时仪器要定期抽真空，换样品源电压不正常：（b）真空系统不正常；（c）高压电路故障；时尽量减少样品室在大气中停留的时间，关机后一般要十分钟；（d）计算机逻辑控制电路故障等。
(完)
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