类型: |
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材质: |
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原理: |
真空泵 |
真空度: |
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驱动方式: |
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性能: |
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用途: |
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输送介质: |
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泵轴位置: |
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功率(kw): |
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极限压力(pa): |
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抽气速率(l/s): |
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抽气量: |
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最大工作压强: |
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重量(kg): |
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电压(V): |
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排出口径(mm): |
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扬程(m): |
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流量(m3/h): |
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叶轮数目: |
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厦门漳州分子泵
三明分子泵 龙岩分子泵 莆田分子泵 美国安捷伦分子泵 进口分子泵 南平分子泵 耐用分子泵
来自于镀膜工艺方面的技术难题
系统的本底压力在 10-7 mbar的范围
稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围
必须具有高氩气负载能力
大量热量的产生
来自于环境以及系统运行中的技术难题
必须保持高产量的客观事实
湿度及冷凝水
颗粒及混合物
系统整合控制需求
系统自我早期诊断需求
精确的转子设计
温度的监视及控制
内置保护装置 (喷吹/放气)
工业级的耐用性外壳设计
内置的早期自我诊断系统