供应气柜用减压阀

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产品名称：气柜用减压阀
产品型号：MR-2400系列无弹簧无螺纹超高纯微型减压阀
产品简介：


气柜用减压阀详细介绍
MR-2400系列无弹簧无螺纹超高纯微型减压阀
超高纯微型单级减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
内部无弹簧无螺纹设计，更洁净
精密电子抛光5 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)

入口压力: 600 or 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100psig

介质接触部件材料
阀体：316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片：316L不锈钢，Hastelloy （哈氏合金）
阀座：阀座：PCTFE / Vespel (仅3500psig)
提升阀：316 不锈钢，Hastelloy （哈氏合金）
后面密封条：316 不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P)：5Ra µ;in(.13 micrometer)
内部漏率检测：1 * 10-10 atm cc/sec He（氦气）
内部容积：2.9cc
入口压力衰减(Cv = .06)：0.7psig/100psig (50/7000 mbar)

推荐流量: 0~100slpm


74-3800系列无弹簧无螺纹超高纯大流量减压阀
超高纯单级大流量减压阀
内部无弹簧无螺纹设计，更洁净
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
精密电子抛光5 Ra，10 Ra
Cv=0.5

入口压力: 600, 1000, 3500psig
出口压力: 0-30, 0-60, 1-100, 1-150psig

介质接触部件材料
阀体：316L VAR SST二次提纯不锈钢；电子抛光或316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片：316L 不锈钢
阀座：Vespel/PCTFE/Teflon PFA
其它部件：316 不锈钢 ，也可做哈氏合金处理
内表面精密电子抛光(P.E.P)：10 Ra or 5Ra µ;in
内部漏率检测：＜1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
入口压力衰减：1.3psig/100psig
内部容积：15cc

推荐流量: 0~500slpm (0~18 SCFM)


64-2600系列高纯高压减压阀
超高纯单级减压阀
自由提升阀设计
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)

入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-250psig

介质接触部件材料
阀体：316L SSR不锈钢 电子抛光；316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光；316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片：316L 不锈钢
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 )/ Teflon/Vespel(聚酰亚胺 )(3500psig)
提升阀及弹簧：316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P)：10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测：1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
入口压力衰减：0.7psig/100psig

推荐流量: 0~100slpm


64-2800系列固定提升阀减压阀
超高纯单级高压减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (1000 PSIG max. inlet)

入口压力: 1000, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig

介质接触部件材料
阀体：316L SST不锈钢 电子抛光；316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光；316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片：316不锈钢 ，哈氏合金处理
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 )
提升阀及弹簧：316不锈钢，哈氏合金处理
内表面精密电子抛光(P.E.P)：10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测：1 x10-9 atm cc/sec He（氦气）
入口压力衰减：0.8psig/100psig Cv=.06
1.6psig/100psig Cv=.15

推荐流量: 0~100slpm


64-3200系列大流量BSGS大宗特气减压阀
超高纯单级大流量减压阀
大流量
BSGS大宗特殊气体供应系统专有设计
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光 10 Ra
Cv=1.2

入口压力: 150, 1000, 1500psig
出口压力: 0-30, 0-60, 0-100 and 0-200psig

介质接触部件材料：
阀体：316L SST 不锈钢 电子抛光；316L SST 不锈钢 内表面加强电子抛光
膜片：316 SST 不锈钢 或Hastelloy（哈氏合金）
阀座：Teflon (150psig) or PCTFE (1000 and 1500psi)
提升阀：316 SST 不锈钢 或Hastelloy-C（哈氏合金）
内表面电子抛光：10 Ra
内部漏率检测：＜1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）

推荐流量: 0~900slpm (0~32 SCFM)


64-3400系列两级式减压阀
超高纯两级式减压阀
两级式减压
入口压力衰减效应非常小
特别适用于钢瓶压缩气体

膜片与阀体完全金属密封
自由提升阀和提升阀与膜片物理连接设计
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光 10 Ra
Cv=.06

入口压力: 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100 and 1-150psig

介质接触部件材料
阀体：316L SST 不锈钢 电子抛光；316L SST 不锈钢 内表面加强电子抛光
膜片：316 SST 不锈钢 或Hastelloy（哈氏合金）
阀座：TPCTFE or Teflon PFA
提升阀及弹簧：316 SST 不锈钢 或Hastelloy（哈氏合金）
内部漏率检测
阀座：＜4 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
膜片：＜ 1 * 10-9 atm cc/sec He
内表面电子抛光：10 Ra
入口压力衰减：0.04change/100psig inlet

推荐流量: 0~80slpm


64-3600系列低压力衰减减压阀
超高纯单级减压阀
低压力衰减(流量增加时，减压阀输出压力衰减很小)
高灵敏度
自由提升阀和提升阀与膜片物理连接设计
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)

入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig

介质接触部件材料
阀体：316L SST不锈钢 电子抛光；316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光
膜片：Hastlloy（哈氏合金）
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 ) / Teflon PFA / Vespel
提升阀及弹簧：316不锈钢
其它部件：316不锈钢或Hastelloy
内表面电子抛光：10 Ra µ;in
内部漏率检测：1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
入口压力衰减：0.4psig/100psig Cv=.15
0.2psig/100psig Cv=.06
内部容积：12cc

推荐流量: 0~100slpm


64-5000系列##压力减压阀
超高纯单级##压力减压阀
负偏压设计，适用于真空和较低压力应用
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
Cv=.24 (120 PSIG max. inlet)

入口压力: 120, 600 or 3500psig
出口压力: 28”Hg Vac -15psig, 28”Hg Vac -30psig, 28”Hg Vac -60psig, 28”Hg Vac -100psig

介质接触部件材料
阀体：316L SST不锈钢 电子抛光；316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光；316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片：316L 不锈钢
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 ) / Teflon
提升阀及弹簧：316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P)：10 Ra or 5Ra µ;in
内部漏率检测：＜1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）

推荐流量: 0~5slpm


449-254高压大流量BSGS大宗特气减压阀
超高纯单级高压大流量减压阀
高压，大流量
BSGS大宗特殊气体供应系统专有设计
自由提升阀设计
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光 10 Ra
Cv=1.0

入口压力: 1500psig
出口压力: 25-400psig

介质接触部件材料
阀体：316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片：Elgiloy（埃尔吉洛伊耐蚀游丝合金）
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 )
阀的其它部件：Hastelloy
内表面电子抛光：10 Ra µ;in
内部漏率检测：＜1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
内部容积：12cc

推荐流量: 0~900slpm (0~32 SCFM)


17系列超大流量BSGS大宗特气减压阀
超高纯单级超大流量减压阀
超大流量
BSGS大宗特殊气体供应系统专有设计
内部无塑料元件设计，更洁净
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断，避免内漏
低压力衰减
Cv= 6.0

入口压力: 800 PSIG(56kg/cm2)
出口压力: 0-50, 0-100, 0-150 PSIG

介质接触部件材料
阀体：316L SST 不锈钢
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 )
风箱：Hastelloy
垫圈：Nickel 200
阀的其它部件：316L SST 不锈钢
内表面电子抛光：10 Ra µ;in
内部漏率检测: 1 * 10-9 atm cc/sec He
入口压力衰减：7 PSIG/100 PSIG

推荐流量: 0~2830slpm (100 SCFM)