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产品中心
产品名称:1/2
产品型号:64-32系列
产品简介:
1/2详细介绍
23系列大流量减压阀
超高纯单级大流量减压阀
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
自由提升阀和提升阀与膜片物理连接设计
23-3 提升阀与膜片物理连接设计
23-4 自由提升阀设计
精密电子抛光5 Ra,10 Ra
Cv=1.8
入口压力: 150, 250psig
出口压力: 0-30, 0-60, 1-100psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR SST二次提纯不锈钢 电子抛光;316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 ) / Teflon
提升阀:316L不锈钢
其它部件:316 不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:<1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
内部容积:18.5cc
推荐流量: 0~950slpm (0~34 SCFM)
74-3800系列无弹簧无螺纹超高纯大流量减压阀
超高纯单级大流量减压阀
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
精密电子抛光5 Ra,10 Ra
Cv=0.5
入口压力: 600, 1000, 3500psig
出口压力: 0-30, 0-60, 1-100, 1-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR SST二次提纯不锈钢;电子抛光或316L VAR SST二次提纯不锈钢
膜片:316L 不锈钢
阀座:Vespel/PCTFE/Teflon PFA
其它部件:316 不锈钢 ,也可做哈氏合金处理
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:<1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:1.3psig/100psig
内部容积:15cc
推荐流量: 0~500slpm (0~18 SCFM)
74-3000系列无螺纹超高纯大流量减压阀
超高纯单级大流量减压阀
内部无螺纹设计,更洁净
自由提升阀设计
精密电子抛光5 Ra,10 Ra
Cv=0.5
入口压力: 300, 600, 1000, 3500psig
出口压力: 28”Hg Vac?15psig, 3-30, 3-60, 4-100, 4-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR SST二次提纯不锈钢;电子抛光或316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:Hastelloy(哈氏合金)
阀座:Vespel/PCTFE/Teflon PFA
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:<1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:1.3psig/100psig
内部容积:14cc
推荐流量: 0~500slpm (0~18 SCFM)
64-3200系列大流量BSGS大宗特气减压阀
超高纯单级大流量减压阀
大流量
BSGS大宗特殊气体供应系统专有设计
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光 10 Ra
Cv=1.2
入口压力: 150, 1000, 1500psig
出口压力: 0-30, 0-60, 0-100 and 0-200psig
介质接触部件材料
阀体:316L SST 不锈钢 电子抛光;316L SST 不锈钢 内表面电子抛光
膜片:316 SST 不锈钢 或Hastelloy(哈氏合金)
阀座:Teflon (150psig) 或 PCTFE (1000 & 1500psi)
提升阀:316 SST 不锈钢 或Hastelloy-C(哈氏合金)
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra
内部漏率检测:<1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
推荐流量: 0~900slpm (0~32 SCFM)
44-3200系列高压大流量减压阀
高纯单级大流量减压阀
膜片与阀体完全金属密封
平衡提升阀设计
同中心双回旋金属膜片设计,保证高精度并能够大幅提升循环周期寿命
电子抛光 10 Ra
Cv=1.0, 1.8(optional)
入口压力: 500, 3000psig
出口压力: 0-25, 0-50, 0-100, 0-150, 0-200psig
介质接触部件材料:
阀体:316 不锈钢 或 铜
膜片:316 不锈钢
阀座:Teflon (500psig) / CTFE (3000psig)
阀帽:镀铜镍
加固部件:S21800合金(具有高强度高抗腐蚀强度)
其它部件:316 不锈钢
最大漏率:<2 * 10-8 atm cc/sec He
推荐流量: 0~550slpm / 0~900slpm (Cv=1.8)