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产品中心
产品名称:1/4
产品型号:64-2600系列高纯高压减压阀
产品简介:
1/4详细介绍
74-2400系列无弹簧无螺纹超高纯减压阀
超高纯单级减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
精密电子抛光5 Ra
Cv=.15
入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE / Vespel(仅3500psig)
提升阀:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
内部容积:2.9cc
入口压力衰减:0.7psig/100psig
推荐流量: 0~100slpm
64-2600系列高纯高压减压阀
超高纯单级减压阀
自由提升阀设计
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-250psig
介质接触部件材料
阀体:316L SSR不锈钢 电子抛;316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光;316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 )/ Teflon / Vespel(聚酰亚胺)(3500psig)
提升阀及弹簧:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:0.7psig/100psig
推荐流量: 0~100slpm
64-2800系列固定提升阀减压阀
超高纯单级高压减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (1000 PSIG max. inlet)
入口压力: 1000, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L SST不锈钢 电子抛光;316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光;316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:316不锈钢 ,哈氏合金处理
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 )
提升阀及弹簧:316不锈钢,哈氏合金处理
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:0.8psig/100psig (Cv=.06); 1.6psig/100psig (Cv=.15)
推荐流量: 0~100slpm
64-3600系列低压力衰减减压阀
超高纯单级减压阀
低压力衰减(流量增加时,减压阀输出压力衰减很小)
高灵敏度
自由提升阀和提升阀与膜片物理连接设计
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L SST不锈钢 电子抛光;316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光
膜片:Hastlloy(哈氏合金)
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 ) / Teflon PFA / Vespel
提升阀及弹簧:316不锈钢
其它部件:316不锈钢或Hastelloy
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:0.4psig/100psig (Cv=.15); 0.2psig/100psig (Cv=.06)
内部容积:12cc
推荐流量: 0~100slpm
64-5000系列##压力减压阀
超高纯单级##压力减压阀
负偏压设计,适用于真空和较低压力应用
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
Cv=.24 (120 PSIG max. inlet)
入口压力: 120, 600 or 3500psig
出口压力: 28”Hg Vac -15psig, 28”Hg Vac -30psig, 28”Hg Vac -60psig, 28”Hg Vac -100psig
介质接触部件材料
阀体:316L SST不锈钢 电子抛光;316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光;316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 ) / Teflon
提升阀及弹簧:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra or 5Ra µ;in
内部漏率检测:<1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
推荐流量: 0~5slpm
12/12F系列超高纯微型减压阀
超高纯微型单级减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
精密电子抛光5 Ra 或 10 Ra
VCR或1.5" 和 1.125" 表面安装
12系列
入口压力:150psig
出口压力: 20”Hg-15psig, 2-30, 3-60, 3-100psig
推荐流量: 0~120slpm
12F系列
入口压力: 150psig
出口压力: 20”Hg-15psig, 2-30, 3-60, 3-100psig
内部集成0.003um金属镍膜气体过滤器(过滤效率大于9LRV)
推荐流量: 0~30slpm
介质接触部件材料
阀体:316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片:Hastelloy (哈氏合金)
阀座:PCTFE
提升阀:316L不锈钢
内部集成过滤器:镍
其它部件:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):5 Ra 或 10 Ra
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
内部容积:1.53cc
MR-2400系列无弹簧无螺纹超高纯微型减压阀
超高纯微型单级减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
精密电子抛光5 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
入口压力: 600 or 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片:316L不锈钢,Hastelloy (哈氏合金)
阀座:阀座:PCTFE / Vespel (仅3500psig)
提升阀:316 不锈钢,Hastelloy (哈氏合金)
背部密封:316 不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):5Ra µ;in (0.13 micrometer)
内部漏率检测:1 * 10-10 atm cc/sec He(氦气)
内部容积:2.9cc
入口压力衰减(Cv = .06):0.7psig/100psig (50/7000 mbar)
推荐流量: 0~100slpm
74-2400系列无弹簧无螺纹超高纯减压阀
超高纯单级减压阀
提升阀与膜片物理连接以保障在减压阀卸载后能够完全关断,避免内漏
内部无弹簧无螺纹设计,更洁净
精密电子抛光5 Ra
Cv=.15
入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-150psig
介质接触部件材料
阀体:316L VAR 二次提纯不锈钢
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE / Vespel(仅3500psig)
提升阀:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
内部容积:2.9cc
入口压力衰减:0.7psig/100psig
推荐流量: 0~100slpm
64-2600系列高纯高压减压阀
超高纯单级减压阀
自由提升阀设计
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)
入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-250psig
介质接触部件材料
阀体:316L SSR不锈钢 电子抛;316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光;316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片:316L 不锈钢
阀座:PCTFE(聚三氟氯乙烯 )/ Teflon / Vespel(聚酰亚胺)(3500psig)
提升阀及弹簧:316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P):10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测:1 * 10-9 atm cc/sec He(氦气)
入口压力衰减:0.7psig/100psig
推荐流量: 0~100slpm