我们的石英滚筒式等离子清洗机气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成了气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小,除非他们通过电场加速。加速时,他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。
“绿色”的优势:无氟氯化碳和污水,操作和环境安全。排除有毒和腐蚀性的液体。等离子处理的主要缺点是较低的吞吐量。
我们致力于气体等离子处理,即让气体在常温下,无热相变下改变。这些气体可以是惰性的,也可以是起反应的。在反应性气体的情况下,利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
石英滚筒等离子系统Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104石英滚筒式等离子清洗机
4" diameter x 8" long
102毫米直径 x 203毫米长腔体
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106石英滚筒式等离子清洗机
6" diameter x 8"long
152毫米直径x 203毫米长腔体
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108石英滚筒式等离子清洗机
8" diameter x 8"long 腔体
203毫米直径x203毫米长
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18" L long
254毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18" L long
2 4毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150石英滚筒式等离子清洗机
10" dia x 18"L 2 4毫米直径x 457毫米长腔体
SCE 604石英滚筒