硅外延层电阻率测试仪

硅外延层电阻率测试仪

FT-352导体材料高温电阻率测试系统

一、概述：

采用由四端测量方法测试电阻率系统与高温试验箱结合配置专用的高温测试探针治具，满足半导体及导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，是检验和分析材料质量的一种重要的工具。

二、适用行业：

广泛用于：生产企业、高等院校、科研部门对导体材料在高温下电阻率数据的测量.

三、功能介绍：液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；

四、技术参数资料

一、电阻测量范围： 

1、电阻率： 1×10^-8～2×10⁶Ω-cm

电   阻：1×10^-8～2×10⁶Ω

电导率：5 ×10^-6～1×10⁸ms/cm

分辨率：  最小0.1μΩ  

测量误差±（0.05%读数±5字）

2、测量电压量程： 2mV   20mV  200mV 2V 

   测量精度±（0.1%读数）

分辨率：  0.1uV  1uV 
10uV  100uV

3、⑴电流输出：直流电流 0～10000mA 连续可调，由交流电源供电。

   ⑵量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,10A量程可自动转换或者人工设定. 

   ⑶误差：±0.2%读数±2字

4. 主机外形尺寸：330mm*340mm*120mm

5、显示方式：液晶显示

6、电源：220±10% 50HZ/60HZ

10. 最高温度： 1200℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C

11、升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；功率：3kw.

12、炉膛材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。

13、带PC测试软件，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！

14.选购：电脑和打印机

本仪器采用4.3?即笠壕?聊幌允荆??毕允疽壕?允荆旱缱琛⒌缱杪省⑽露取⒌ノ换凰恪⑽露认凳?⒌缌鳌⒌缪埂⒌绲悸剩?渲貌煌?牟馐灾尉呖梢月?悴煌?牧系牟馐砸?蟆

测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.