激光干涉仪

Renishaw公司是世界##的计量解决方案供应商，致力于提高制造业和科研的生产力。
英国renishaw公司成立于1973年，提供坐标测量机、数控机床及电子和半导体行业制造自动化系统的解决方案。产品包括各种测头、校准、光栅、编码器、数字化扫描及光谱系统。         
 其中的激光干涉仪广泛应用于数控机床、三坐标测量机等精密机械的各种几何精度的测量，动态特性测量和分析。它也可作为各种精密机械的长度基准器。

英国renishaw激光干涉仪，现在主要为XL80系列，主要性能指标如下：
激光头XL-80
尺寸（重量） 214 mm × 120 mm × 70 mm(1.85 kg)
电源外部电源，90-264 VAC，
自动适应
系统测量能力线性、角度（加回转轴）、
平面度、直线度和垂直度
激光输出
接口内置USB连接，无需单独
接口
TPin（触发信号） 是
正交信号输出是（工厂设定）
模拟电压输出是
信号强度LED指示灯是
XL激光系统以组件的形式提供，包括
• XL激光装置
• USB电缆
• 电源和电缆
• 辅助I/O接头
• 系统手册 (CD-ROM)
系统性能
线性测量距离80 metres
线性测量精度±0.5 ppm
激光稳频精度±0.05 ppm
分辨率1 nm
最高移动速度4 m/s
动态采集频率10 Hz ? 50 kHz
预热时间< 6分钟
环境温度0 °C ? 40 °C
储存温度范围-25 °C ? 70 °C
环境传感器
范围精度
材料温度 0 °C ? 55 °C ±0.1 °C