采用丝网印刷技术制备调整控制膜厚

　　烧结型气敏器件由于工艺制作过程难以对敏感层膜厚进行精确控制，将影响器件的一致性。厚膜型气敏器件采用丝网印刷技术制备膜厚，具有易于批量生产且成本低的特点，并且可以通过印刷工艺调整控制膜厚，进而改善厚膜型气敏器件的灵敏度和一致性但关于膜厚影响厚膜型气敏元件敏感特征的研究报道尚少，本文采用平面印刷技术制备气敏试样，研究不同膜厚气敏器件在不同工作条件下的阻温曲线和气敏特征，结果表明制备工艺不同膜厚试样的气体灵敏度不同，阻温曲线也不同，要制备灵敏度高一致性好的气敏器件，调整控制膜厚和热处理温度至关重要。

　　实验将浓度为的氨水滴到含有的的盐酸混合物溶液中以生成锑和锡氧化物的沉淀，滴定过程控制值在之间，温度控制左右，然后用溶液和去离子水溶液交替洗涤沉淀，直到在洗涤溶液中滴入溶液，无沉淀出现。将沉淀物在干缎烧射线衍射实验表明，该粉末为掺的在制备的粉末中掺入微量添加剂及无机粘结剂，用适量乙基纤维素和其它溶剂配制的有机粘结剂，将粉料调制成丝网印刷膜厚浆料。采用手动精密丝网印刷机，在已制备好叉指铂电极的氧化铝基片上，通过调整浆料粘度印刷不同厚度的敏感膜。无机材料学报卷干燥后，在精确控制的不同温度下进行热处理，再经过适当低温热处理及通电老化，制成气敏器件试样，随后进行不同条件下的性能测试。(完)